完美的世界 1993 电影,大主宰天蚕土豆小说

工藝應(yīng)用

PVD晶圓倒片上下料
機(jī)器人型號

-GBT-P7A-700  （了解更多）
-GBT-S3A-400-C  （了解更多）
-GBT-S6A-600-C  （了解更多）
系統(tǒng)組成

-晶圓檢測Mapping系統(tǒng)
-全自動上盤、盤尋邊系統(tǒng)
-全自動上片、下片系統(tǒng)
客戶所得經(jīng)濟(jì)效益

-良品率≥99.5%
-節(jié)拍達(dá)到：288pcs/h
關(guān)鍵技術(shù)

-機(jī)器人通過國家潔凈等級的認(rèn)證，可在無塵環(huán)境中使用
-機(jī)器人配備高速I/O, 實(shí)現(xiàn)對圓晶Mapping檢測
-高穩(wěn)定性保證取放晶圓和料盤無擦碰
競爭優(yōu)勢

-機(jī)器人重復(fù)定位精度高（重復(fù)定位精度：0.02mm)，可確保晶圓上下片無碰傷
-高速搬運(yùn)無抖動，可實(shí)現(xiàn)晶圓高速上下料
-柔性高、兼容性好、穩(wěn)定易操作